当コンソーシアム「太陽電池」分科会の第3回セミナーを開催します。

皆さま奮ってご参加下さい。

 

【日時】

2013年7月10日（水）16:00-17:00

 

【題目】

分子動力学シミュレーションによるプラズマ表面相互作用解析

 

【講師】

浜口　智志（教授・大阪大学 工学研究科）

 

【要旨】

近年、微細化の限界に到達しつつある半導体デバイスでは、その製造過程において、表面から１ナノメートル程度の深さの表面層に、 プラズマエッチングプロセスによるイオン照射ダメージが形成される可能性がある。このようなダメージは、デバイスの性能劣化の主要な原因となる。

 

本講演では、分子動力学（ＭＤ）シミュレーションを用いて、プラズマプロセスにおける表面ダメージ形成過程を解析する手法を紹介する。

 

たとえば、HBr/O2プラ ズマを用いたゲートエッチングプロセスにおいては、質量の小さな水素イオンによる表面ダメージは大きく、 シリコンリセスの原因となるばかりでな く、finFETのチャネル形成過程においても、チャネルとなる側壁へのダメージ形成の原因となる。

 

イオンビーム照射実験結果とＭＤシミュレー ション結果を比較しながら、水素イオン入射による表面ダメージ形成過程について、詳しく議論する。

 

【場所】

東北大学　片平キャンパス　流体科学研究所　2号館5階　大講義室 （地図）

 

【参加登録】

参加ご希望の方は、7月8日（月）までに、事務局へメールでご連絡下さい。

担当：小林　（kobayashi*sammy.ifs.tohoku.ac.jp　[「*」を「@」に変えて下さい]　）

 

【開催報告】寒川研究室HPへ