ダメージフリーエッチング技術として東北大学で誕生した大口径中性粒子ビーム装置が、 東北大学西澤潤一記念研究センターに設置され、コインランドリー方式により公開されます。

 

この機会に、中性粒子ビームのコンセプト開発の経緯、中性粒子ビームを 用いて何ができるのかを紹介し、中性粒子ビーム装置を利用頂く契機とする とともに、中性粒子ビームの新たな展開について議論できればと存じます。

 

ふるってご参加下さい。

 

 

【日時】2013年11月22日（金）14:00-17:30

 

【場所】東北大学　青葉山キャンパス　 西澤潤一記念研究センター２階　MEMSショールーム

 

【共催】

東北大学マイクロシステム融合研究開発拠点

産学連携イノベーション促進事業「垂直統合型技術結集と新しい産学連携システムによる最先端電池基盤技術の創出」

東北大学流体科学研究所附属未到エネルギー研究センター

東北大学マイクロ・ナノマシニング研究教育センター

 

【プログラム】

14:00-14:30「中性粒子ビーム開発の経緯と最新の研究動向」（仮）(30min)

東北大学　流体科学研究所およびWPI-AIMR　教授　寒川誠二

 

14:30-14:50「中性粒子ビームによる無損傷III-V族半導体量子ドット作製と光学デバイスへの応用」（仮）(20min)

東北大学　WPI-AIMR　助教　肥後昭男

 

14:50-15:10「中性粒子ビーム酸化による高品質極薄酸化膜の形成」(20min)

東北大学　WPI-AIMR　准教授　大野武雄

 

15:10-15:20 休憩

 

15:20-15:40「中性粒子ビームの生成メカニズムのシミュレーション」（20min）

みずほ情報総研（株）　渡辺尚貴

 

15:40-16:00「中性粒子ビームエッチングの加工形状シミュレーション」(20min)

（株）NTTデータ数理システム　望月俊輔

 

16:00-16:30「大口径中性粒子ビーム装置を用いたエッチングプロセス」（30min）

東北大学　流体科学研究所　准教授　久保田智広

 

16:30-17:00「中性粒子ビームエッチングが拓く新規MEMSデバイスの可能性」（30min）

東京大学　大学院工学系研究科　総合研究機構　准教授　杉山正和

 

17:00-17:30 中性粒子ビーム装置見学会

 

【参加費】

無料

 

【参加申込】

東北大学 久保田智広 （kubota*sammy.ifs.tohoku.ac.jp　「*」を「@」に代えて下さい） 宛てに「大口径中性粒子ビーム装置に関する研究会参加申し込み」との タイトルでメールをお送り下さい。

（参加申し込みなしでの当日参加も可能です）