第2回インテリジェント・ナノプロセス研究会
コラボレーションコアメンバーの研究成果報告と情報交換が行われました。
講演者
「Sub-0.1μｍ超LSI時代の製造プロセスの課題、インテリジェント化への模索」
「高速化量子分子動力学法のナノプロセスへの応用」
「電子スピン共鳴法によるプラズマプロセス表面反応機構および欠陥生成機構の解明」
「シリコンプロセスの第一原理量子シミュレーション」
「ラジカルインジェクション法による高精度シリコン酸化膜エッチング」
講演会場の様子です。来訪者が多く、ちょっと心配でしたが、無事全員を収容する事が出来ました。
幅広く専門家が集まった研究会のためか、込み入った質問はほとんど無く、全容を把握するような、言わば表面的は質問や、研究の新しい切り口を模索するような質問が多く感じられました。
研究会後の懇親会の図。これがメインだと言う話もあります（笑）
お互いの研究に刺激を受けた後、ほっと一息ついているような和気藹々とした雰囲気です。
鈴木君と沖川さん、伊藤さんが雑談しています。まだ鈴木君の理性が残っている貴重な写真です。余談になりますが、彼はこの後の2次会で記憶をなくします。
先生の指名を受け、檜山さんが最後の締めに３本締めをしてくれました。
来年も頑張ろうと思います、よいお年を。
ではでは、この辺で・・・。
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