寒川 誠二 教授
Prof. Seiji Samukawa
[経歴]
[研究内容]
[論文賞・学会賞・その他受賞]
[学外組織との関わり]
経歴
1959年4月1日生まれ(満41歳)
1981年3月慶應義塾大学工学部計測工学科卒業
1981年4月日本電気株式会社に入社
1992年2月慶応義塾大学より工学博士の学位を授与
2000年7月東北大学・流体科学研究所・教授
研究内容
1. タイムモジュレーションプラズマによる負イオンの生成と高反応・ダメージフリーエッチング
技術(超LSI)
2. UHF帯(500MHｚ)による次世代大口径プラズマ源の開発と高精度エッチング技術(超LSI、
ディスプレイ)
3. ガス分子構造設計による選択ラジカル生成法(地球温暖化にも対応)
4. UHFプラズマによる微結晶シリコン薄膜の生成(太陽電池、TFF)
論文賞・学会賞・その他受賞
1.
1997
International Microprocess and Nanotechnology Conference,
Outstanding Paper Awards(論文賞)：寒川誠二、塚田勉
2.1998年度ＮＥＣ研究開発グループ功績賞（石黒賞）：寒川誠二
学外組織との関わり
(1)共同研究
1.名古屋大学工学研究科量子工学専攻;後藤俊夫教授（UHFプラズマ、ラジカル計測、微粒子）
2.静岡大学理学部物理学科;三重野哲助教授（負イオン計測、パルス変調プラズマ）
3.防衛大学電気工学教室;中野俊樹助教授（UHFプラズマ、イオン速度分布計測）
4. Lucent Technologies, Bell Laboratories, USA; Dr.Vincent M. Donnelly(UHF plasma, Pulsed Plasma).
5.Universite Joseph Foruier and CNSR,
France; Prof.N.Sadeghi(UHF Plasma, Ion Velocity).
(2)国家プロジェクト（兼務）
超先端電子技術開発機構(ASET)主任研究員(1997.3-)
(3)学会役員
1.応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会幹事（1992-1994).
2.応用物理学会学会誌編集委員（1994-1996).
3.国際マイクロプロセスコンファレンス論文委員（応用物理学会、1993-1997, 1996-97:
セクションヘッド）.
4.ドライプロセスシンポジウム論文委員(電気学会、1994-, 1996:副委員長,1997:委員長, 1998年：
運営委員, 副委員長).
5.反応性プラズマ国際会議（応用物理学会、1994:実行委員、1997:組織委員、1998:組織委員).
6.米国物理学会GEC executive committee（American Physical Society, 1995年-1997年）.
7.Japanese Journal of Applied Physics 編集委員（1997年-).
8.電気学会専門調査委員会”非平衡プラズマのモデリングと微細加工”幹事(1997年-).
9.電気学会電子衝突断面積専門調査委員会、委員（1995年-).
10. American Vacuum Society, program committee (American Vacuum Society, 1997年-).
11. International Symposium on
Electron-Molecule Collisions and Swarms,
organizing committee (物理学会原子衝突協会、1998年-).
12. International Workshop on Basic Aspect
of non-equilibrium Plasma and Interaction with Surface,
Organizing committee (JSAP、1999年-).