６月８日１１時〜１２時にＳＴＡＲＣプロジェクト・寒川研究グループ ・高精度プラズマプロセスのためのオンウエハーモニタリングシステム 開発の最終成果報告会が新横浜・半導体理工学研究センター本社会議室 で開催されました。この研究プロジェクトは平成１４年度〜１７年度の ４年間のプロジェクトで、プラズマプロセスによる損傷をシリコン基板 上の実構造・実寸法パターンにてリアルタイムに定量的に測定するセンサー チップを開発するというものである。センサー構造が確立し、実際の 量産工場での試作にも成功し、データベースの構築も実現できた。 今後はデータ処理の回路をセンサーと組み合わせ、さらにデータを解析 するソフトを開発して実用化することを考えている。ベンチャー化に向けて 尚一層の頑張りたいと思います。このプロジェクトの期間に、博士１名、 修士３名、学部２名の学生を輩出しました。客員研究員として協力 いただいたソニー門村新吾様、三洋電機・市橋由成様、沖電気・西谷明人 様に感謝いたします。
