装置

流体研2号館101号室 (第3実験室)

  • Neutral beam CVD/oxidation system

    Neutral beam CVD/oxidation system
    中性粒子ビーム対応CVD装置

流体研2号館102号室 (第3実験室)

  • Neutral beam etching system for Si-based materials

    Neutral beam etching system for Si-based materials
    Si対応NBエッチング装置

  • Neutral beam etching system for III-V compounds

    Neutral beam etching system for III-V compounds
    化合物半導体対応NBエッチング装置

  • UHV sputter/EB deposition system

    UHV sputter/EB deposition system
    超高真空スパッタ装置

流体研2号館103号室 (第2実験室)

  • Scanning electron microscope

    Scanning electron microscope
    走査型電子顕微鏡

  • Neutral beam sytem for organic materials

    Neutral beam sytem for organic materials
    マルチビーム生成装置

  • UV-ozone cleaner

    UV-ozone cleaner
    UVオゾン処理装置

  • FT-IR

    FT-IR
    FT-IR(フーリエ変換赤外分光光度計)

流体研2号館105号室 (第1実験室)

  • Neutral beam CVD system (8inch)

    Neutral beam CVD system (8inch)
    大口径NBE-CVD装置

  • Neutral beam etching system for metals

    Neutral beam etching system for metals
    NBメタルエッチング装置

流体研2号館201号室 (第1共同実験室)

  • Scanning probe microscope

    Scanning probe microscope
    島津製SPM装置

  • Fume hood

    Fume hood
    ドラフト

流体研2号館203号室 (第4共同実験室)

  • Tube furnace

    Tube furnace
    小型アニール炉

  • Resistance heating deposition apparatus

    Resistance heating deposition apparatus
    真空蒸着装置

流体研2号館206号室(共同計測室)

  • Spectroscopic ellipsometer

    Spectroscopic ellipsometer
    エリプソメトリー装置

  • Thermal desorption spectrometer

    Thermal desorption spectrometer
    TDS(昇温脱離ガス分析)装置

  • Interference thickness meter

    Interference thickness meter
    光干渉式膜厚測定装置 ラムダエース

  • Hall effect measurement system

    Hall effect measurement system
    ホール効果測定装置

  • Angle-resolved UV-Vis-NIR spectroscopy

    Angle-resolved UV-Vis-NIR spectroscopy
    角度変更型UV-VIS装置

WPI-ANNEX棟 423号室

  • Neutral beam etching system (8inch)

    Neutral beam etching system (8inch)
    大口径NBエッチング装置

WPI-ANNEX棟 424号室

  • Micro PL/Raman spectroscopy

    Micro PL/Raman spectroscopy
    顕微ラマン分光測定装置

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