オンウエハモニタリングの研究会にて寒川先生が招待講演（半導体東北地区連絡会・人材育成プロジェクト）
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1月15日に、半導体東北地区連絡会・人材育成プロジェクトの一環として、東北大学流体科学
研究所・２号館大講義室にて、オンウエハモニタリングに関する研究会が行われました。
半導体東北地区連絡会は、半導体デバイス製造の現場の技術者のスキル向上のため、
半導体製造技術の現場が抱える課題について会社の枠を超えて意見を交換している会です。
今回の研究会では、寒川先生が「プラズマエッチングにおけるダメージとそのモニタリング」
という題目での招待講演を行いました。各社エンジニアの方々が興味を持って聴講されていました。
また、連絡会に参加している企業からエッチングにおける課題について報告され、
寒川先生より有用なコメント・アドバイスがなされました。
寒川研からはオンウエハモニタリングおよびオンウエハ測定データによる
ダメージ予測技術の現状についてライブデモを行いました。
東北経済産業局、インテリジェントコスモス、半導体関連協議会（福島県、岩手県、宮城県）
にもオブザーバ参加頂き、30名以上が参加する盛況な会議となりました。
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