インテリジェント・ナノプロセスを科学する！

IT革命時代の21世紀に展開するディジタル情報家電、 ネットワーク情報家電を支えるのは超LSI、TFT、太陽電池等に代表される 超機能半導体デバイス技術である。これらのデバイスは、電子、原子・分子、 イオン、フォトンなどのミクロ粒子を用いた薄膜材料堆積・加工技術により製造されている。 また、更なる先端デバイスではバイオテクノロジーの利用も検討されている。 本研究室ではこれら荷電粒子 (正負イオン、電子) および中性粒子 (原子・分子) の生成方法や加速技術 (ビーム技術も含む)、あるいは粒子の流れに関する研究 および最先端バイオナノプロセスを研究することで、世界に先駆けた 原子・分子レベルの超高精度微細加工 (エッチング) 技術、高機能薄膜材料形成(堆積)技術、 あるいは各種表面処理技術の開発を行い、また実験と計算を融合することにより 「インテリジェント・ナノプロセス」の実現を目指している。さらには、 地球環境にも重大な関心を持ち、地球に優しい環境共生型ナノプロセスの研究開発も行っている。

寒川誠二教授