寒川先生が米国真空学会(American Vacuum Society)のPlasma Prizeを受賞


本年の米国真空学会におけるPlasma Prizeの受賞者に寒川先生が選出されました。 Plasma Prizeはプラズマ科学分野において世界的に傑出した貢献や研究業績に対して贈られる賞で、寒川先生の２０年に渡る米国真空学会での独創的で活発な研究活動が評価されたものであります。寒川先生はパルス時間変調プラズマや中性粒子ビーム、オンウエハーダメージモニタリングシステムの発明・提案などの「超低損傷プラズマプロセス」の実現において先駆的な仕事を行ってきております。Plasma Prizeの贈呈は今年で１１回目になりますが、日本人としては２人目の快挙であります。 授賞式は、米国・アルバカーキで行われる2010 AVS国際会議中の10/19にAztec conference roomで行われます。

皆さんで寒川先生の受賞を慶びたいと思います。





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