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寒川先生、GEC・APS合同国際会議で招待講演 寒川先生は１１月１４日〜１７日の期間、米国ソルトレイクシティで開催されたプラ ズマ関係の学会では最大のＧＥＣ・ＡＰＳ合同国際会議において、招待講演を行いま した。５００名ほど入る会場にて講演し、大変好評を得ました。 ＜講演題目＞ Damage-free Neutral Beam Etching, Deposition and Surface Modification Processes for Novel Nano-scale Devices ＰＤＦファイル |