博士・修士学位審査




1/21に佐藤充男さん、松永さん、和田さんの博士論文の審査会が開催されました。3人とも素晴らしい発表で審査委員の先生方からも非常に興味を持っていただいてました。


1/21(金) 　13:50-14:30 佐藤充男 『プラズマその場観察によるプロセスコントロールに関する研究』

14:40-15:20 松永範昭 『LSI多層配線製造プロセスにおけるプラズマ損傷現象に関する研究』

15:30-16:10 和田章良 『超低損傷表面改質による高性能半導体デバイス開発に関する研究』




2/9に佐々木君と戸村君の修士論文審査会が開催されました。2人とも立派な発表をされました。2人は修士課程を修了し、社会に出られます。これからも頑張ってください。


2/9(水) 　10:30-11:00 佐々木亨 『中性粒子ビーム励起堆積技術による超低誘電率膜の形成に関する研究』

11:00-11:30 戸村幕樹 『MEMSデバイスにおけるプラズマ誘起欠陥の影響に関する研究』



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