インテリジェント・ナノプロセス コラボレーションコア

研究代表者: 寒川誠二 (流体科学研究所)

目的

 ナノスケールデバイス時代を迎え、超微細加工技術や新機能材料薄膜堆積技術としてプラズマ、ビーム、光励起、原子操作、バイオナノプロセス(これらをまとめてナノプロセスと呼ぶ)の果たす役割は益々大きくなってきている。本プロジェクトでは、それらナノプロセスの高精度モニタリング(センシング)技術を開発するとともにリアルタイム制御が可能なインテリジェント・ナノプロセスの実現を目的とする。

説明図



インテリジェント・ナノプロセス構想詳細(PDF)



研究機関

平成14年4月1日〜平成19年3月31日

メンバー

(学内: 9名)

教授: 寒川誠二 (流体科学研究所) 教授: 圓山重直 (流体科学研究所)
教授: 高木敏行 (流体科学研究所) 教授: 早瀬敏幸 (流体科学研究所)
教授: 小柳光正 (工学研究科機械知能工学専攻) 教授: 羽根一博 (工学研究科機械電子工学専攻)
教授: 江刺正喜 (工学研究科機械電子工学専攻) 教授: 庭野道夫 (電気通信研究所)
教授: 坪内和夫 (電気通信研究所)  


(学外: 21名)

(大学)
真壁利明 (慶応大学・教授) 三重野哲 (静岡大学・教授)
浜口智志 (京都大学・助教授) 節原裕一 (京都大学・助教授)
中野俊樹 (防衛大学・助教授) 藤山寛 (長崎大学・教授)
明石治朗 (防衛大学・講師)  
(国立研究所)
小松正二郎 (物質材料研究機構・物質研究所・主任研究員)
三木一司 (産業技術総合研究所ナノテクノロジー研究部門・主任研究員)
山崎聡 (産業技術総合研究所次世代半導体研究センター・総括研究員)
石井順太郎 (産業技術総合研究所計測標準研究部門・主任研究員)
伊藤順司 (産業総合技術研究所エレクトロニクス研究部門部門長)
(企業)
山下一郎 (松下電器先端技術研究所・主席研究員)
湯之上隆 (株シ導体先端テクノロジーズ・あすかプロジェクト・主任研究員)
羽坂智 (日本酸素鞄d子機材営業本部・部長)
門村新吾 (ソニー潟Zミコンダクターネットワークカンパニー統括部長)
加納正明 ((株)東芝・生産技術センタープロセス研究センター・センター長)
熊野勝文 (潟潟Rー研究開発本部・副本部長)
長谷川英晴 (日本酸素葛Z術・開発本部・副本部長)
藤田淳一 (日本電気滑礎研究所・主任研究員)
井上恭典 (三洋電機(株) マテリアル・デバイス研究所 SoCデバイス研究部部長)




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