中性粒子ビームによる

５０nmダメージフリーエッチングが新聞に掲載

日刊工業新聞（９／１１）、河北新聞（９／１４）に掲載されました。

日刊工業新聞（９／１１）PDFファイルはこちら

河北新聞（９／１４）PDFファイルはこちら

日経新聞（１０月２４日）ＰＤＦファイルはこちら

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