新聞発表
寒川研究室の活動で、新聞に発表されたものを紹介しています。
中性粒子ビーム技術が新聞に掲載
(2001年11月20日 河北新報, 2002年1月21日 日経産業新聞)
紫外光放射損傷に関して新聞発表
(2002年6月7日 日経産業新聞, 6月6日 河北新報)
新ガスケミストリーが新聞発表
(2002年11月13日 日経産業新聞, 11月13日 河北新報)
寒川先生が朝日新聞で紹介
(2002年12月20日 朝日新聞)
寒川先生が毎日新聞で紹介
(2003年1月7日 毎日新聞)
オンウエハモニタリング、日経マイクロデバイスに紹介！
(日経マイクロデバイス 2003年5月号)
中性粒子ビームによる50nmダメージフリーエッチングが新聞に掲載！
(2003年9月11日 日刊工業新聞, 9月14日 河北新報, 10月24日 日本経済新聞)
パルス変調中性粒子ビームによる高精度酸窒化膜形成が新聞に掲載！
(2003年11月7日 日経産業新聞)
パルス変調プラズマによる紫外線照射損傷低減、IEDMで発表
(2003年12月10日 日刊工業新聞)
日経マイクロデバイスの記事 -Challenger- で寒川先生が紹介
(日経マイクロデバイス 2004年1月号)
プラズマプロセス制御用
オンウエハーモニタリングセンサーが新聞に掲載
(2004年9月16日 日刊工業新聞)
中性粒子ビームによるナノカラム作製が
日本経済新聞に掲載
(2004年12月3日 日本経済新聞)
Japan Nanonet Bulletin 第78号
(12月8日 文部科学省のメールマガジン：Japan Nanonet Bulletin 第78号に寒川先生の記事が掲載されました)
パルス時間変調プラズマによる磁性材料のエッチングで日刊工業新聞に掲載
(2005年10月19日 日刊工業新聞)
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エッチングにおける側壁のポリマーの効果で NIKKEI MICRODEVICESに掲載
(2005年11月 NIKKEI MICRODEVICES)
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フィン型ダブルゲートＭＯＳＦＥＴの製作の成果が新聞に掲載
(2005年12月8日 日刊工業新聞、2005年12月9日 日経産業新聞)
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中性粒子ビームを用いた低損傷高精度加工技術が NIKKEI MICRODEVICESに掲載
(2006年2月 NIKKEI MICRODEVICES)
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慶応大学の三田評論に寒川先生の随筆が掲載
(2006年2月 三田評論)
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