学会名:ALD/ALE2021
参加者:上根直也
日 時:2021.06.27-30
D2の上根直也君が、「Density Functional Study on ALD precursors for Hexagonal Boron Nitride Deposition」という題目で発表を行いました。
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2021.07.20|学会
学会名:ALD/ALE2021
参加者:上根直也
日 時:2021.06.27-30
D2の上根直也君が、「Density Functional Study on ALD precursors for Hexagonal Boron Nitride Deposition」という題目で発表を行いました。