学会名:PVSEC-33
参加者:上根直也
日 時:2022.11.13-17
D3の上根直也君が、「Atomic-scale PECVD Process Simulations at Si / Silicon-Germanium Interface by Reactive Force-Field Molecular Dynamics」という題目で発表を行いました。
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2022.12.01|学会
学会名:PVSEC-33
参加者:上根直也
日 時:2022.11.13-17
D3の上根直也君が、「Atomic-scale PECVD Process Simulations at Si / Silicon-Germanium Interface by Reactive Force-Field Molecular Dynamics」という題目で発表を行いました。