2012/12/5〜12/7 (水〜金)に幕張メッセで開催されたセミコン・ジャパン 2012に東北大学流体科学研究所ナノ・ マイクロクラスターの アクティビティを展示してまいりましたので以下報告いたします。

セミコン・ジャパン2012概要

開催日時：2012年12月5日（水）〜7日（金）

会場：幕張メッセ

日毎総来場者数（主催者発表）

日付	来場者数（人）	昨年（人）
12月5日（水）	22,750	23,400
12月6日（木）	23,290	18,250
12月7日（金）	21,010	21,410
合計	67,050	63,060

昨年とほぼ同様の来場者数であった。PV Japanとの同時開催により、 昨年度の6%増になったとの主催者の分析であった。

ナノ・マイクロクラスター展示ブース

展示場所: ホール5 ブースM-13

展示内容: クラスターパネル、寒川研パネル、佐藤研パネル、徳増研パネル、石本研パネル、オンウェハモニタリングシステム、寒川研パンフレット、クラスターパンフレット、オンウェハモニタリングパンフレット、流体研グッズ（クリアファイル、ボールペン、付箋）

備考

来場者は、企業関係者が多かった。レジスト除去技術、プラズマ滅菌、プラズマセンシング、ダメージフリー加工技術などに興味を持った人が多かった。ナノ・マイクロクラスターブースへの来場者は3日間で132名であった。

「ナノ・マイクロクラスター」という名称に興味を持った方も多くいらっしゃった。流体研独自のクラスターという組織形態そのものに関する広報活動にもなったと考える。