研究者一覧

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寒川誠二　教授（ナノ・マイクロクラスター長）
- 中性粒子ビームによる無欠陥ナノ構造の作製と先端LSIデバイスへの応用
- 中性粒子ビームによる室温動作量子効果デバイスの開発
- 低温暖化ガスによるエッチングプロセス
- インテリジェントナノプロセスによる高精度プロセス制御
- 大気圧プロセスの解析・デバイス応用
石本淳　教授
- マイクロ・ナノスラッシュジェットを用いた
  アッシングレス半導体洗浄システムの開発
小原拓　教授
- 液体の熱物性を決定する分子動力学機構
- 液体及び膜・界面のヘテロ構造と非等方性輸送特性
佐藤岳彦　教授
- 水中プラズマの気泡生成消滅機構
- プラズマオートクレーブの開発
中野政身　教授
- マイクロ・ナノ粒子分散系ＥＲ流体の創製と評価
- マイクロ・ナノ粒子分散ＭＲコンポジットの創製と評価
- ER流体を活用したMicro Fluid Power System (MFPS)の研究開発
西山秀哉　教授
- ナノ・マイクロ粒子高速流動制御による成膜プロセス
- DCアシスト高周波誘導プラズマ流動システムの能動制御による
  微粒子創製プロセス
- 非平衡極限プラズマ流による浮遊汚染ナノ粒子の捕集と
  表面反応浄化システムの開発
久保田智広　准教授
- オンウェハセンサと表面反応モデリングの融合によるプラズマプロセス予測
- 大口径中性粒子ビームエッチング装置の開発
高奈秀匡　准教授
- 非平衡プラズマによる微粒子流動制御と反応浄化
徳増崇　准教授
- 燃料電池内部で生じるナノスケール反応流動メカニズムの解明
米村茂　准教授
- 分子気体力学的アプローチによるナノ気体潤滑のメカニズムの解明
菊川豪太　講師
- 高機能修飾界面における輸送特性の研究
竹島由里子　講師
- 自己組織化単分子膜のための粒子配置設計支援システムの開発
三木寛之　講師
- 半鏡面研磨ダイヤモンド膜の超低摩擦発現機構の解明と
  超低摩擦スライダーへの応用
岡田健　助教
- 中性粒子ビームを用いたグラフェンの電気特性変調と次世代デバイスの開発
- 中性粒子ビームを用いた基板表面改質による有機ナノ粒子の集積化
辻田哲平　助教
- マイクロ・ナノ粒子分散系ＥＲ流体の創製と評価
- ER流体を活用したMicro Fluid Power System (MFPS)の研究開発
寺田弥生　助教
- 磁性コロイド一層膜とコロイド鎖のダイナミクス
- ガラス転移点近傍におけるダイナミクスの解明
胡衛国　助教
- 中性粒子ビームによるナノ材料の創製と機能評価
- 量子ドット太陽電池の開発