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セミコン・ジャパン2013出展報告

2013/12/4〜12/6 (水〜金)に幕張メッセで開催されたセミコン・ジャパン 2013に東北大学流体科学研究所ナノ・マイクロクラスターの アクティビティを展示してまいりましたので以下報告いたします。

セミコン・ジャパン2013概要

開催日時:2013年12月4日(水)〜6日(金)

会場:幕張メッセ

日毎総来場者数(主催者発表)

日付来場者数(人)昨年(人)
12月4日(水)18,86422,750
12月5日(木)19,76123,290
12月6日(金)20,24821,010
合計58,87367,050


ナノ・マイクロクラスター展示ブース

展示場所: ホール5、先端エレクトロニクスパビリオン、イノベーティブベンチャーエリア、ブース番号V5-014)

展示内容: クラスターパネル、寒川研パネル、佐藤研パネル、徳増研パネル、石本研パネル、オンウェハモニタリングシステム、寒川研パンフレット、クラスターパンフレット、オンウェハモニタリングパンフレット、流体研グッズ(クリアファイル、ボールペン、付箋)

ナノ・マイクロクラスター展示ブースへの来場者数は、以下の通り。

日付来場者数(人)
12月4日(水)27
12月5日(木)31
12月6日(金)37
合計95