西山秀哉　教授

　ナノ・マイクロクラスター

	ナノ・マイクロ粒子高速流動制御による成膜プロセス
	研究テーマの内容
	DCアシスト高周波誘導プラズマ流動システムの能動制御による微粒子創製プロセス
	研究テーマの内容
	非平衡極限プラズマ流による浮遊汚染ナノ粒子の捕集と表面反応浄化システムの開発
	研究テーマの内容