寒川誠二
教授(ナノ・マイクロクラスター長）
ナノ・マイクロクラスター
中性粒子ビームによる無欠陥ナノ構造の作製と先端LSIデバイスへの応用
研究テーマの内容
中性粒子ビームによる室温動作量子効果デバイスの開発
研究テーマの内容
低温暖化ガスによるエッチングプロセス
研究テーマの内容
インテリジェントナノプロセスによる高精度プロセス制御
研究テーマの内容
大気圧プロセスの解析・デバイス応用
研究テーマの内容
