産総研サテライト研究室

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産総研ナノエレクトロニクス研究部門・寒川研究室サテライト実験室が立ち上がる!


 寒川先生が2015年4月より産総研へのクロスアポイントによりフェローに就任されたことにより、産業技術総合研究所つくばセンター・ナノエレクトロニクス研究部門に移設された中性粒子ビームエッチング装置の設置・立ち上げが2016年2月26日に完了し、サテライト実験室が完成しました。いよいよ産総研での実質的なナノデバイス開発研究の活動が開始することとなりました。産総研では最先端トランジスタ、ナノエネルギーデバイスなどの最先端デバイスへの展開を進め、産業への展開を進めます。寒川研究室のサテライト研究室は台湾交通大学に続いて二つ目になります。

資料「中性粒子ビームを用いた新材料集積デバイスの研究」(PDF)

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