装置
流体研2号館101号室 (第3実験室)
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Neutral beam CVD/oxidation system
中性粒子ビーム対応CVD装置 -
Scanning probe microscope
島津製SPM装置
流体研2号館102号室 (第3実験室)
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Neutral beam etching system for Si-based materials
Si対応NBエッチング装置 -
UHV sputter/EB deposition system
超高真空スパッタ装置
流体研2号館103号室 (第2実験室)
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Scanning electron microscope
走査型電子顕微鏡 -
Neutral beam sytem for organic materials
マルチビーム生成装置 -
UV-ozone cleaner
UVオゾン処理装置 -
FT-IR
FT-IR（フーリエ変換赤外分光光度計）
流体研2号館105号室 (第1実験室)
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Neutral beam CVD system (8inch)
大口径NBE-CVD装置
流体研2号館201号室 (第1共同実験室)
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Fume hood
ドラフト
流体研2号館203号室 (第4共同実験室)
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Tube furnace
小型アニール炉 -
Resistance heating deposition apparatus
真空蒸着装置
流体研2号館206号室(共同計測室)
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Spectroscopic ellipsometer
エリプソメトリー装置 -
Interference thickness meter
光干渉式膜厚測定装置 ラムダエース -
Hall effect measurement system
ホール効果測定装置 -
Angle-resolved UV-Vis-NIR spectroscopy
角度変更型UV-VIS装置
MaSC棟 101号室
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Neutral beam etching system (8inch)
8インチNBエッチング装置 -
Neutral beam etching system (6inch)
6インチNBエッチング装置
WPI-ANNEX棟 424号室
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Micro PL/Raman spectroscopy
顕微ラマン分光測定装置
Contents
