寒川研究室 東北大学流体科学研究所

　　　　　　　　2012年度　Introduction Video

　　　　　　　　2021年度　Introduction Video（10min)

　　　　　　　　2021年度　Introduction Video（English subtitled version)

Samukawa laboratory is developing advanced devices (such as solar cell, laser, transistor, and MEMS) aiming for world's No. 1, based on our original ultralow-damage plasma / beam process technologies. We also progress fusion with biotechnology and computer simulation. We are also developing environmentally-harmonized processes.

本研究室は昨年７月に私がNECから東北大学に移籍するに伴い発足しました。 「実学主義」が伝統である東北大学で「あなたのためにできること」をモットーに、日本産業の基盤を支える新しい産学連携のあり方を構築すべく頑張っております。かつてのような勢いは日本企業にはなく、企業における基礎研究は大変厳しい状況に置かれております。これからの日本の基盤を支えるためには、大学での研究が新しい産業の創出や実際の技術革新に結びつかなければならないと考えます。しかし、現状では大学がその受け皿として必ずしも十分に機能しておらず、大学のあり方に対する産業界の不満も少なからず耳にします。そこで、企業を経験した私の使命は産業に直結するような実践的で革新的な技術を提供していくことだと理解し、微力ながら日本産業を支えていきたいと考えております。

当研究室では超LSIデバイス、ナノデバイス、マイクロ・ナノマシンなどのナノテクノロジーにおける微細加工、薄膜堆積、ドーピング技術とし て必要不可欠である反応性プラズマの完全制御を目指して研究に励んでおります。具体的には反応性プラズマ中のミクロ粒子（電子、原子・分子、正負イオン、微粒子、フォトン）の生成過程、輸送過程および表面反応過程について研究し、超高精度加工、高機能薄膜材料堆積、高品質表面改質などの革新的プラズマプロセスを世界に先駆けて提案していきたいと考えております。さらに、環境問題に配慮した地球にやさしいプラズマプロセス技術や環境浄化のためのプラズマプロセス技術の研究開発にも着手していきます。反応性プラズマはバイオテクノロジー・医療分野においても基盤技術として益々その重要性を増していくと考えられ、反応性プラズマに関する教育・研究を通して人類の将来を豊かにする人材および技術を輩出していくことが使命であると考えております。

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　(2001年9月）