実験設備関係
現在、約90m2の実験室にプラズマ分析装置１台、プラズマエッチング装置２台、マルチビーム生成装置１台の計４台の真空装置が設置され常時動いています。また、プラズマを制御するためには高精度なプラズマ分析装置が必要になります。本研究室では既に、ラングミューアプローブ、 UV光発光分光装置、紫外光分光装置、エネルギーアナライザー付質量分析装置、赤外半導体レーザー吸収分光装置（IR-LAS）、中性化率測定装置などを備え、電子・正負イオン・ラジカル・フォトンなどの活性種を測定できるようになっています。現在までに実験室のダクト、換気や配管工事およびこれらの装置の立ち上げもほぼ完了し、これから本格的に研究をスタートさせる予定であります。本年度は、表面反応計測装置やプラズマCVD装置など研究領域拡張のための準備を行う予定であります。 さらに、当研究室は工学研究科機械知能工学専攻の協力講座となっており、ベンチャービジネスラボラトリーやマイクロ・ナノマシン棟も利用し、デバイス試作や各種解析などの研究も同時に行っています。
