久保田智広　准教授

　ナノ・マイクロクラスター

	オンウェハセンサと表面反応モデリングの融合によるプラズマプロセス予測
	研究テーマの内容
	大口径中性粒子ビームエッチング装置の開発
	研究テーマの内容