メンバー

寒川　誠二

Apr14,2014

寒川　誠二 教授
Prof. Seiji Samukawa

Apr14,2014

Apr14,2014

経歴

1959年4月1日生まれ(満41歳)
1981年3月慶應義塾大学工学部計測工学科卒業
1981年4月日本電気株式会社に入社
1992年2月慶応義塾大学より工学博士の学位を授与
2000年7月東北大学・流体科学研究所・教授

研究内容

  1. タイムモジュレーションプラズマによる負イオンの生成と高反応・ダメージフリーエッチング技術(超LSI)
  2. UHF帯(500MHｚ)による次世代大口径プラズマ源の開発と高精度エッチング技術(超LSI、ディスプレイ)
  3. ガス分子構造設計による選択ラジカル生成法(地球温暖化にも対応)
  4. UHFプラズマによる微結晶シリコン薄膜の生成(太陽電池、TFF)

論文賞・学会賞・その他受賞

  1. 1997 International Microprocess and Nanotechnology Conference,
    Outstanding Paper Awards(論文賞)：寒川誠二、塚田勉
  2. 1998年度ＮＥＣ研究開発グループ功績賞（石黒賞）：寒川誠二

学外組織との関わり

(1)共同研究

  1. 名古屋大学工学研究科量子工学専攻;後藤俊夫教授（UHFプラズマ、ラジカル計測、微粒子）
  2. 静岡大学理学部物理学科;三重野哲助教授（負イオン計測、パルス変調プラズマ）
  3. 防衛大学電気工学教室;中野俊樹助教授（UHFプラズマ、イオン速度分布計測）
  4. Lucent Technologies, Bell Laboratories, USA; Dr.Vincent M. Donnelly(UHF plasma, Pulsed Plasma).
  5. Universite Joseph Foruier and CNSR, France; Prof.N.Sadeghi(UHF Plasma, Ion Velocity).

(2)国家プロジェクト（兼務）

超先端電子技術開発機構(ASET)主任研究員(1997.3-)

(3)学会役員

  1. 応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会幹事（1992-1994).
  2. 応用物理学会学会誌編集委員（1994-1996).
  3. 国際マイクロプロセスコンファレンス論文委員（応用物理学会、1993-1997, 1996-97: セクションヘッド）.
  4. ドライプロセスシンポジウム論文委員(電気学会、1994-, 1996:副委員長,1997:委員長, 1998年： 運営委員, 副委員長).
  5. 反応性プラズマ国際会議（応用物理学会、1994:実行委員、1997:組織委員、1998:組織委員).
  6. 米国物理学会GEC executive committee（American Physical Society, 1995年-1997年）.
  7. Japanese Journal of Applied Physics 編集委員（1997年-).
  8. 電気学会専門調査委員会"非平衡プラズマのモデリングと微細加工"幹事(1997年-).
  9. 電気学会電子衝突断面積専門調査委員会、委員（1995年-).
  10. American Vacuum Society, program committee (American Vacuum Society, 1997年-).
  11. International Symposium on Electron-Molecule Collisions and Swarms, organizing committee (物理学会原子衝突協会、1998年-).
  12. International Workshop on Basic Aspect of non-equilibrium Plasma and Interaction with Surface, Organizing committee (JSAP、1999年-).

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