6月28日から7月1日にかけて、アメリカ・フロリダ州のタンパでALD/ALE 2026が開催されました。
研究室からは博士課程2年の土射津さんが発表しました。
「In-situ XPS Study of Ozone Oxidation of Aminosilane Adsorption Layers on Alumina」と題し、
Aminosilane 1pulse照射時の表面吸着や最初の1pulseオゾン照射後の変化について議論しました。