研究業績
受賞
寒川先生、慶応義塾大学理工学部より同窓生表彰を受賞
寒川先生は、この度、慶應義塾大学理工学部および理工学部 同窓会より、「秀でた活躍の同窓生」に選ばれ、６月１８日に 表彰式と記念講演を行いました。受賞理由は、「半導体デバイス 製造におけるプラズマエッチングに新しい手法を導入し、プラズマ プロセス技術で顕著な業績を挙げており、その超微細加工技術は 国内外において高く評価されている。」というものでした。 先生も大変感激され、今後の研究の励みにしたいと言っておられました。
また、７月１日より 慶應義塾大学理工学部ホームページ に寒川先生の記事が掲載されますので、是非ご覧ください。
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