研究業績
受賞
寒川先生が科学技術分野の文部科学大臣表彰・科学技術賞を受賞
寒川先生が平成21年度科学技術分野の文部科学大臣表彰・科学技術賞（研究部門）を受賞いたしました。科学技術分野の文部科学大臣表彰とは、科学技術に関する研究開発、理解増進等において顕著な成果を収めた者について、その功績を讃えることにより、科学技術に携わる者の意欲の向上を図り、もって我が国の科学技術水準の向上に寄与することを目的としております。本表彰には、1) 顕著な功績をあげた者を対象とした科学技術賞、2) 高度な研究開発能力を有する若手研究者を対象とした若手科学者賞、3) 優れた創意工夫により職域における技術の改善向上に貢献した者を対象とした創意工夫功労者賞、4) 児童・生徒の創意工夫の育成に顕著な成果をあげた小・中学校を対象とした創意工夫育成功労学校賞があり、寒川教授は科学技術賞（研究部門）を受賞いたしました。今回受賞の対象になった業績は、「半導体デバイス特性の劣化を防ぐ超高精度加工技術の研究」で、半導体デバイス製造においてキーテクノロジーである"プラズマエッチングプロセス"が基板に与える損傷を解明し、その損傷を最小限に抑制して高精度な加工を実現できる方法を提案したものです。授賞式は4/14, 東京・虎ノ門パストラルで行われます。
皆さんで寒川先生の受賞を慶びたいと思います。
Contents
