SAMUKAWA Lab Green Nanotechnology Lab.,Innovative Energy Research Center, Institute of Fluid Science, Tohoku University

SPP速水社長とNYCU寒川講座教授の共同研究契約締結

　8月24日にSPPテクノロジーズ・速水社長が訪台して寒川先生との共同研究契約の調印式に臨みました。
　寒川先生とSPPは最近10年に渡って中性粒子ビームエッチング装置の開発を進めてきましたが、寒川先生が台湾に移られたのを機会に台湾において12インチ対応の中性粒子ビームプロセス装置の開発を決定いたしました。この開発はマイクロLEDおよびGaN HEMT、最先端Siロジックデバイスなどの展開を目指しており、日本の技術と台湾の技術を出し合うことでイノベーションを引き起こす共同研究です。
　今後５年間に渡る共同研究のスタートです。