SAMUKAWA Lab Green Nanotechnology Lab.,Innovative Energy Research Center, Institute of Fluid Science, Tohoku University

寒川先生、9月4日に開催される2023 ALD Equipment Development Workshop「2023 半導體設備原子級薄膜製程技術交流會」で基調講演

　寒川先生は、9月4日午後に2023年ALD Equipment Development Workshop「2023 半導體設備原子級薄膜製程技術交流會」で基調講演を行いました。
　TSMC、精華大学、TIRI等の複数の方から１０以上の質問が出され、原子層プロセスに関する深い議論が展開されました。日本の装置メーカーと大口径中性粒子ビームの開発が正式にスタートしたこともあり、各種デバイス研究者の興味も大変大きなものがありました。
　大変良いタイミングでのワークショップで今後の展開が期待されます。