SAMUKAWA Lab Green Nanotechnology Lab.,Innovative Energy Research Center, Institute of Fluid Science, Tohoku University(Previous: Intelligent Nano-Process Lab.)

寒川先生、IEEE Silicon Nano-electronics Workshopで招待講演(2016/6/13)

　寒川先生はVLSI Technology SymposiumのサテライトワークショップであるIEEE Silicon Nano-electronics Workshop（ハワイ・ホノルル）で招待され、招待講演を行った。

　今回の講演内容は、３次元トランジスタにおける加工・表面改質および堆積技術であり、中性粒子ビームは半導体プロセスの全てのプロセスに展開可能であることを示した。

　講演後に多数の質問が寄せられ、多くの反響があった。１１日～１３日と束の間の滞在であったが、大変有意義な議論ができたようである。