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寒川先生、CSTIC2017で招待講演(2017/3/11-13)


 寒川先生は、3月11日~13日の期間、上海を訪問し、セミコン中国主催で開催された国際会議CSTIC2017で招待講演されると共に、2年前まで寒川研究室でポスドクをしていた上海工程技術大学・准教授・江さんを訪問し、中性粒子ビーム研究に関する連携の議論を行いました。

 また、国際会議では名古屋大学の天野先生の最新研究のお話を聞き、会議後には装置メーカーAMECを訪問して、プラズマダメージに関する議論をしてきました。今後中国における半導体ビジネスは大きな発展が見込めるため、中国との連携も少しずつ議論を進める必要があると寒川先生は感じているようです。

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