SAMUKAWA Lab Green Nanotechnology Lab.,Innovative Energy Research Center, Institute of Fluid Science, Tohoku University(Previous: Intelligent Nano-Process Lab.)

寒川先生、上海・AMECに招待され、プラズマエッチングに関する講義を実施(2017/7/18)

　寒川先生は、上海を拠点にしてLam Research, AMTあるいはTELからスピンアウトしたエンジニアが集まって設立されたAdvanced Micro-Fabrication Equipment Inc.(AMEC)に７月１７日～１８日と招待され、３７℃を超す猛暑の上海市浦東新區でプロセスエンジニアに対する研修としてプラズマエッチングプロセス、特にプラズマダメージに関する講義を行いました。

　内容としては、１）序論、２）プラズマエッチング基礎、３）プラズマダメージとその測定方法、４）プラズマダメージ解決方法で９０分の予定でしたが、質問が相次ぎ１５０分の講義になりました。大変熱い議論に寒川先生も大変興奮したようです。

　半導体産業は近い将来中国が引っ張っていくことになると予想されておりますが、世界中から集まった技術者からまさにその熱気を感じました。