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寒川先生、CAMP2017で招待講演（2017/8/14-16）
寒川先生は８月１４日～１６日に米国Lake Placidで開催された21st International Symposium on Chemical-Mechanical Planarization (CAMP 2017)に招待され、中性粒子ビームに関する招待講演を行いました。
今やCMPは原子層レベルの平坦性が要求されるようになり、研磨による欠陥制御が大きな課題になっております。そのため、中性粒子ビームによる平坦化や欠陥制御が注目を浴びました。今後、中性粒子ビーム技術の応用領域の一つの候補として注目を浴びる可能性があります。
また、Lake Placidは1932年および1980年の２度にわたって冬季オリンピックが開催された地で、米国有数の別荘地でもあります。夏でも涼しい過ごしやすい気候の中、雄大な自然とゆったりとした時間の中で、お盆休みを削って参加した寒川先生は大変リフレッシュできたと感想を述べられていました。
