SAMUKAWA Lab Green Nanotechnology Lab.,Innovative Energy Research Center, Institute of Fluid Science, Tohoku University(Previous: Intelligent Nano-Process Lab.)

寒川先生、82nd IUVSTA Workshop on Plasma-based Atomic Layer Processesにて招待講演（2017/12/7）

　寒川先生は１２月４日～７日まで沖縄県名護市喜瀬の万国津梁館にて開催された82nd IUVSTA Workshop on Plasma-based Atomic Layer Processesにて招待講演を行いました。米国、EU、日本から原子層プロセスの研究者が集まり、活発な議論が展開されました。

　寒川先生は代表的な原子層エッチングプロセスとしてシリコンおよびゲルマニウムのFin構造エッチングについて お話になり、UV光損傷抑制の重要性について示し、多くの質問を受けました。

　寒川先生は１泊２日の強行軍でしたが、６日の夜の夕食会で催された慶応大学真壁先生の退職記念セレモニーにも参加されました。寒川先生はNEC時代にその当時応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会幹事長の真壁先生に見いだされ、大変お世話になったそうです。また、米国やEUからも２０年来の懐かしい人たちがあつまり、楽しく思い出深いひと時を過ごされたようです。