SAMUKAWA Lab Green Nanotechnology Lab.,Innovative Energy Research Center, Institute of Fluid Science, Tohoku University(Previous: Intelligent Nano-Process Lab.)

東京エレクトロン・菊地さん、NEDO先導プログラム終了

　東京エレクトロン株式会社・革新技術企画室・菊地氏との共同研究で進めていたNEDOエネルギー・環境新技術先導プログラム「中性粒子ビーム励起表面反応による新物質創製」が本年１月４日付けで終了し、残務処理を終了して帰任することとなりました。InGaN低温成膜に関して画期的な成果を出され、今後国家プロジェクトへの展開が期待されます。まずは、この２年間ほぼ常駐されて研究に没頭されてきた菊地さんのご尽力に感謝し、遠藤クロスアポイント教授（産総研）と一緒にご苦労さん会を開催いたしました。菊地さんのご尽力により、中性粒子ビームのCVDへの可能性が大いに実証され、従来の熱プロセスでは不可能であった物質創製を実現できる可能性を示しました。今後の更なる発展を誓い、宴会は大いに盛り上がりました。