寒川先生、住友電工で中性粒子ビームプロセスに関して講演、議論
寒川先生は３月２９日に住友電工大船事業所を訪問しました。
伝送研究所の研究者と最近の中性粒子ビームプロセス研究成果に関して講演し、今後のデバイスへの展開に関して意見交換する場を持ちました。
住友電工の研究者からは中性粒子ビームプロセスへ期待する意見が述べられ、特に原子層エッチング技術について詳細に議論をしました。
