研究室紹介
行事
寒川先生、The 7th International Conference on Microelectronics and Plasma Technology (ICMAP 2018)で招待講演
寒川先生は７月２４日～２８日韓国・仁川・松島Convensiaで開催されたICMAP2018に招待され、7月27日に招待講演を行いました。
本国際会議の今回のトピックスは原子層加工および原子層堆積技術で、その中でも寒川研究室で提案している中性粒子ビームは大変大きな注目を集めて、多くの聴衆を集めた。セッションの冒頭に座長のLam ResearchのDr.Thorsten Lillより、寒川先生のこれまでの業績が紹介され、特にパルス変調プラズマと中性粒子ビームで世界的に有名であり、最近、IEEEフェローに就任したことまで紹介された。
現在はナノデバイスに対して原子層レベルの加工が必要不可欠で、寒川先生が提案した中性粒子ビームはそれを実現するためには必要不可欠であることを示しており、それがあらゆる学会で認識され始めたことを感じたセッションだったそうです。
久しぶりにプラズマの国際会議に呼ばれた寒川先生は、プラズマプロセスを先導してきたUCバークレー・グレーブス教授、ミシガン大・クシュナー教授や阪大・浜口教授、九大・白谷教授、交通大学・呉教授などと懐かしく交流しました。
日本を直撃した台風のため、帰国が１日遅れるというハプニングもありましたが、大変有意義な時間だったようです。
