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寒川先生、上海工学技術大学(SUES)での講義およびAMECでの学術指導で上海に滞在


 寒川先生は8月19日~26日の1週間上海に滞在し、元寒川研究室ポスドクのChangさんが准教授を務めるSUESでの講義とプラズマ装置メーカーAMECへの学術指導のため上海を訪れました。

 大学ではプラズマおよび中性粒子ビームプロセスの講義とChang研究室での学生との議論や共同研究の打ち合わせを行い、AMECではプラズマ損傷の評価に関する技術指導を行った。学生には生活に必要なことは全て大学内で確保できるようになっており、学問や研究に集中できるような環境が整えられている。よく勉強し、海外志向が強いことがよく分かりました。教員も海外で研究した経験が重要視され、日本とは大分様子が違います。また、AMECですが、最近立ち上がった新興のプラズマ装置メーカーですが、既に大手半導体メーカーにも装置導入しており、プラズマダメージを議論するなど、かなり力をつけていることが分かった。アカデミアも企業もかなり半導体関連で力をつけていることを目の当たりにした。


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