SAMUKAWA Lab Green Nanotechnology Lab.,Innovative Energy Research Center, Institute of Fluid Science, Tohoku University(Previous: Intelligent Nano-Process Lab.)

ゲルマニウム原子層エッチングに関する論文がJVST Editor’s Pickに選ばれる！

　この度、Journal of Vacuum Science & Technology A 37, 021003 (2019) に掲載された「Atomic layer germanium etching for 3D Fin-FET using chlorineneutral beam」がEditor’s Pickに選ばれ、JVST-AのCover Pageに掲載されました。

　Cover Pageに掲載されるのは極めてインパクトの高い論文と判断されたということになります。台湾交通大学、NDLや産総研との国際連携で産み出された重要な論文です。