SAMUKAWA Lab Green Nanotechnology Lab.,Innovative Energy Research Center, Institute of Fluid Science, Tohoku University(Previous: Intelligent Nano-Process Lab.)

寒川先生、Satellite Workshop of XXXIV ICPIG and ICRP-10で招待講演

　寒川先生は、７月２０日に北海道大学フロンティア科学応用研究棟会議室で開催されたSatellite Workshop of XXXIV ICPIG and ICRP-10＝New trends of plasma processes for thin films and related materials＝で招待講演「Atomic Layer Defect-free Etching Processes for future sub-10-nm devices」を行いました。
　イタリア出張とアメリカ出張の間を縫った大変厳しいスケジュールの中、大変楽しい講演を行いました。プラズマの研究者にとっても中性粒子ビームプロセスによる超低損傷プロセスは極めて興味深い講演であったようで、多くの質問が出され、特に欠陥生成と半導体中の電子の移動度との関係に関する質問が多く出された。主催者側の九州大学・白谷先生、北海道大学・佐々木先生と中性粒子ビームのスパッタリング法への応用に関しても議論ができ、今後の新たな展開の可能性についても議論できた。