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寒川先生、Oregon IEEE Nano & Joint EPS/CAS Chapters主催のセミナーにて講演
寒川先生が10月15日17:00-18:30（日本時間10月16日9:00-10:30）にOregon IEEE Nano & Joint EPS/CAS Chapters主催のJoint Technical Seminar ProgramにおいてオンラインにてIEEE/Nano Distinguished Lectureを行うこととなりました。
Intel CorporationのプロセスエンジニアでIEEE NanoTechnology Council, OR ChapterのVice Chairpersonを務めているDr.P. Chakrabortiより招待されたもので、講演題目は"Atomic Layer Etching, Deposition and Modification Processes for Future Nanoscale-devices"です。最近Sub-10nmデバイスにおいて一際中性粒子ビームが注目を集めており、今回も中性粒子ビームの原子層プロセスに関する講演を行う予定です。
https://events.vtools.ieee.org/m/242260 日本時間10月16日(金) 9:00-10:30
