SAMUKAWA Lab Green Nanotechnology Lab.,Innovative Energy Research Center, Institute of Fluid Science, Tohoku University(Previous: Intelligent Nano-Process Lab.)

遠藤先生、クロスアポイント教授の最終日

　産総研・遠藤和彦先生の東北大学クロスアポイント教授の最終訪問でした。
　High-k Atomic Layer Depositionの検討装置の立ち上げに来ていただきました。
　この３年間に共同研究の推進、プロジェクト（CREST, S-STEP, 基盤研究S）の立ち上げ、学生の境域指導にも真摯に取り組んで頂き、東北大学としても大きな成果を挙げさせていただきました。長い間、ご尽力を頂き、心より感謝いたします。
　今後もプロジェクトを通じて、ご協力ご支援をお願いいたします。