SAMUKAWA Lab Green Nanotechnology Lab.,Innovative Energy Research Center, Institute of Fluid Science, Tohoku University(Previous: Intelligent Nano-Process Lab.)

寒川先生、240th ECS Meetingでの招待講演決定！

　寒川先生はこの度the 240th ECS Meeting in Orlando, Florida (October 10-14,2021)での招待講演が決定いたしました。
　このほか、今年も４件以上の国際会議での招待講演予定されております。
　
　（講演情報）
　　　　240th ECS Meeting
　　　　　　　October 13, 2021 (9:30h-10:00h, W331D) #G02-0938
　　　　　　　Symposium: G02: Semiconductor Process Integration 12
　「Atomic Layer Neutral Beam Processes for Nanofabrication and Interface Engineering」