研究室紹介
行事
寒川先生、CVD研究会で原子層加工に関する招待講演
寒川先生は８月４日に開催されるCVD研究会（添付プログラム）において、中性粒子ビームによる原子層加工に関する招待講演を行うこととなりました。
7/5nm世代が台湾で量産されている現在、今後の5/3nm, 3/2nm世代に向けて、中性粒子ビームの原子層加工あるいは原子層堆積への展開はTSMCをはじめ多くのデバイスメーカーから注目を集めている。先日のAVS ALD/ALE学会でも寒川研究室学生がALDとALEに関して発表を行い大きな反響を得ていた。
