遠藤 和彦教授（グリーンナノテクノロジー研究分野）が第47回応用物理学会論文賞『応用物理学会優秀論文賞』を受賞しました。
応用物理学会論文賞は、応用物理学の研究において優れた業績をあげた者に対してその功績をたたえ授与される賞で、『応用物理学会優秀論文賞』は応用物理学の進歩向上に寄与する優秀な原著論文より選定し、その著者を表彰するものです。

受賞対象論文：Defect generation and recovery in high-k HfO₂/SiO₂/Si stack fabrication




 
 



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