中性粒子ビームを用いたエッチング加工を行うとエッチング表面の欠陥を従来のプラズマエッチングに比べて1/100にできることは東北大学・寒川等によって既に明らかにされている。この度、國立陽明交通大学講座教授で東北大学流体科学研究所特任教授の寒川博士と東北大学流体科学研究所特任助教の大堀博士は産総研・王博士と共同で、3.5μm角の世界最小のmicro-LEDに中性粒子ビームエッチングを適用し、チップ側壁の欠陥を抑制することで側壁での非発光再結合が無視できることを示し、超微細なmicro-LEDの発光効率が劣化しないことを世界で初めて明らかにしました。本成果は現在最もホットなmicro-LEDを用いた最先端ディスプレイ技術において課題だった2000ppi以上のディスプレイにおいて高発光効率を実現できる画期的な技術であります。

URL：https://doi.org/10.1038/s41467-023-43472-z



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